파인세라믹 식각공정 부품(실리콘, 쿼츠, 알루미나) 가공 전용 장비

 

(주)새한나노텍은 반도체 전공정 중 "식각공정"에 사용되는 파인세라믹 부품 가공 전용 장비를 제조합니다. 실리콘, 쿼츠, 알루미나 등 난삭재를 효율적이고 우수한 품질로 가공할 수 있습니다. 독자적인 연구개발과 국책과제를 수행하면서 특허를 다수 보유하고 있으며, 업계를 선도하는 뛰어난 가공 기술을 선보이고 있습니다. 

 

 

국내 식각공정 부품 제조사가 많지 않던 시절부터 장비 국산화를 시도하여 성공하였으며, 20년이 넘는 기간 동안 안정적으로 납품해오고 있습니다. 국내 주요 고객사로는 월덱스, 코마테크놀로지, 하나머티리얼즈, 원익QnC, 솔믹스(전SK엔펄스) 등이 있습니다. 

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식각공정 전극(Electrode) 생산 공정별 장비

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링(Ring) 생산 공정별 사용 장비

 

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문의

info@saehannanotech.com